超高纯气体管道系统所用阀门的密封性有非常严格的要求。目前国内实验室高纯气体管道阀门基本采用SS316L不锈钢材质。阀门类型包括减压阀、隔膜阀、波纹管阀和球阀。

　　减压阀又称减压阀，用于控制气体的压力，波纹管阀的密封性优于球阀。当气体流经阀门时，没有填料与外界环境接触，故无泄漏现象：隔膜阀的密封性除与波纹管阀相当外，阀体死体积小，易吹散，污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或者危险性大的气体。

　　实验室超高纯气体管道系统安装要求

　　1、高纯气体一般采用套圈接头和自动氩弧轨道焊连接。焊接式通常采用承插焊和对焊，承插焊接的优点在于焊接时管子对正，便于焊接，但缺点是由于管子与承插 口之间存在间隙， 是一个不易吹走杂质的“死角”，影响高纯气体的质量。内表面不得使用焊缝，即施工时不得使用不锈钢焊丝，应将母材本身熔化填满焊缝。

　　2、为保证输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应使用不锈钢金属软管，不得使用非金属软管。

　　3、超高纯气体管道系统与阀门等附件的连接应采用不易泄漏的专用接头。常用的接头有两种：VCR 和 SWG。VCR采用优良的金属垫，纵向加压压缩，因此泄漏率极低。约10～9A cc/s，具有较高的耐压性。常用于气体杂质含量为1.0×10-9的高纯气体输送系统。SWG不如VCR，耐压性较低。基本上，这两种接头方法的安全性足以替代焊接方法。